旋片真空泵是一種油封式機(jī)械真空泵，可以單獨(dú)使用，也可以作為其他高真空泵或超高真空泵的前級(jí)泵。

　　旋片泵可以泵出密封容器中的干燥氣體，如果安裝了空氣壓艙物，還可以泵出一定量的可冷凝氣體。然而，它不適合泵出含有太多氧氣、對(duì)金屬有腐蝕性、與泵油發(fā)生化學(xué)反應(yīng)以及含有微粒灰塵的氣體。

　　旋片泵是真空技術(shù)中最基本的真空采集設(shè)備之一。旋轉(zhuǎn)葉片泵大多是中小型泵。旋片泵包括單級(jí)旋轉(zhuǎn)葉片泵(圖1)和雙級(jí)旋片泵。所謂兩級(jí)旋片泵是將兩個(gè)單級(jí)旋片泵串聯(lián)在一起。通常分為兩個(gè)階段以獲得更高的真空度。

　　旋片泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋轉(zhuǎn)葉片、端蓋、彈簧等組成。轉(zhuǎn)子偏心安裝在旋轉(zhuǎn)葉片泵的腔內(nèi)，轉(zhuǎn)子的外圓與泵腔的內(nèi)表面相切(兩者之間有一個(gè)小間隙)，兩個(gè)帶彈簧的旋片安裝在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)。旋轉(zhuǎn)時(shí)，旋轉(zhuǎn)板的頂端通過(guò)離心力和彈簧張力與泵腔內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)板沿泵腔內(nèi)壁滑動(dòng)。

　　4kw旋片真空泵由轉(zhuǎn)子、泵室和兩個(gè)端蓋包圍的月牙形空間被兩個(gè)旋轉(zhuǎn)板分成三部分：A、B和C。當(dāng)轉(zhuǎn)子沿箭頭方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，與吸入口連通的空間A的體積逐漸增加，并處于吸入過(guò)程中。與排氣口連通的空間C的體積逐漸減小并處于排氣過(guò)程中。中央空間B的體積也逐漸減小并處于壓縮過(guò)程中。

由于空間A的體積逐漸增加(即，膨脹)，氣體壓力降低，并且泵入口外部的氣體壓力大于空間A中的壓力，因此氣體被吸入。當(dāng)空間A與吸入口隔離時(shí)，即它轉(zhuǎn)到空間B的位置時(shí)，氣體開(kāi)始被壓縮，體積逐漸減小，最后它與排出口連通。當(dāng)壓縮氣體超過(guò)排氣壓力時(shí)，排氣門(mén)被壓縮氣體推開(kāi)，氣體穿過(guò)油箱中的油層并排放到大氣中。泵的連續(xù)運(yùn)行達(dá)到了連續(xù)抽氣的目的。如果排出的氣體通過(guò)空氣通道轉(zhuǎn)移到另一級(jí)(低真空級(jí))，則在排放到大氣中之前，它被低真空級(jí)抽出并被低真空級(jí)壓縮，從而形成兩級(jí)泵。此時(shí)，總壓縮比由兩個(gè)階段承擔(dān)，從而增加最終真空度。